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應(yīng)用案例

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應(yīng)用案例 | 臺積電為保證光罩運(yùn)輸質(zhì)量選擇MSR沖擊振動記錄

發(fā)表時間:2024/11/7 13:58:18

晶圓運(yùn)輸需要注意什么?

晶圓運(yùn)輸是半導(dǎo)體制造過程中極為關(guān)鍵和敏感的一環(huán)。在晶圓運(yùn)輸過程中,需要注意以下幾點(diǎn):

1.靜電防護(hù)

晶圓非常容易受到靜電的干擾,因此在運(yùn)輸過程中需要遵守嚴(yán)格的靜電防護(hù)措施。使用適當(dāng)?shù)?span style="font-weight: 600;">靜電防護(hù)包裝材料和避免靜電產(chǎn)生的行為,如使用導(dǎo)電鞋墊和穿戴適當(dāng)?shù)姆漓o電服裝。

2. 真空環(huán)境

晶圓在運(yùn)輸過程中需要處于潔凈和真空的環(huán)境中,以防止灰塵和污染物對晶圓的影響。運(yùn)輸過程中應(yīng)使用密封良好的容器和避免碰撞或振動

3. 溫度和濕度控制

晶圓對溫度和濕度變化非常敏感,因此在運(yùn)輸過程中需要嚴(yán)格控制這些參數(shù)。使用恒溫恒濕的運(yùn)輸設(shè)備和確保適當(dāng)?shù)臏貪穸确秶?/span>,以防止晶圓受損或質(zhì)量受影響。

4. 防碰撞和防震

晶圓是非常脆弱和易碎的,需要避免碰撞和震動。在運(yùn)輸過程中,應(yīng)使用適當(dāng)?shù)?span style="font-weight: 600;">防震包裝和避免粗暴的操作,以保護(hù)晶圓的完整性。

5. 運(yùn)輸記錄和追蹤

為了確保晶圓的運(yùn)輸過程可追蹤和監(jiān)控,應(yīng)使用適當(dāng)?shù)?span style="font-weight: 600;">運(yùn)輸記錄和追蹤系統(tǒng)。這將有助于追蹤晶圓的位置和狀態(tài),以及及時處理任何潛在的問題。

因此晶圓運(yùn)輸需要非常嚴(yán)格的控制和保護(hù)措施,以確保晶圓的質(zhì)量和完整性不受損害。



HK-MSR175Plus能夠做到什么?

HK-MSR175plus的主要功能是監(jiān)測和記錄運(yùn)輸過程中的溫度、濕度、壓力和位置數(shù)據(jù)。它配備了內(nèi)置的GPS模塊,可以準(zhǔn)確記錄物品的位置信息,并可通過無線方式將數(shù)據(jù)傳輸?shù)?span style="font-weight: 600;">計算器或移動設(shè)備上進(jìn)行分析和評估。

這款產(chǎn)品非常適合用于物流和運(yùn)輸行業(yè),特別是在需要對貨物進(jìn)行長途運(yùn)輸或特殊環(huán)境下的監(jiān)測時。它可以幫助用戶實(shí)時監(jiān)測運(yùn)輸過程中的溫度和濕度變化,以確保貨物的質(zhì)量和完整性。



HK-MSR175plus具有高精度和可靠性,能夠提供詳細(xì)的數(shù)據(jù)報告和圖表,以便用戶進(jìn)行分析和比較。該設(shè)備還具有耐用的外殼,能夠承受艱苦的運(yùn)輸環(huán)境,并具有長電池壽命,確保長時間的監(jiān)測工作。

使用HK-MSR175plus,您可以有效地管理和控制運(yùn)輸過程中的各種參數(shù),以確保產(chǎn)品的安全性和質(zhì)量。這對于需要高度可靠監(jiān)測的行業(yè),例如食品和藥品行業(yè),尤其有用。

總之,HK-MSR175plus是一款功能強(qiáng)大的 GPS 數(shù)據(jù)記錄器,為運(yùn)輸監(jiān)測提供了全面的解決方案,幫助用戶實(shí)時監(jiān)測貨物的溫度、濕度、壓力和位置,確保貨物在運(yùn)輸過程中的安全和質(zhì)量


臺積電工程師專訪

Q1:「HK-MSR175plus沖擊運(yùn)輸數(shù)據(jù)記錄儀」在臺積電主要應(yīng)用在哪些場域?(用在哪些產(chǎn)品的運(yùn)輸?每一趟運(yùn)輸?shù)臅r間、距離?)

A1:我們將HK-MSR175Plus應(yīng)用在中國臺灣與美國的運(yùn)輸中。因為在運(yùn)輸過程中會產(chǎn)生量的上下左右振動,所以我們需要了解傳送振動的實(shí)際g値,并且規(guī)范出最大的振動范圍。平均一趟的來回運(yùn)輸時間約為 9 天,距離約 25,000 公里。


Q2:眾多相關(guān)產(chǎn)品之中,臺積電為何選擇「HK-MSR 175plus」?(哪些特點(diǎn)吸引購買?價格、質(zhì)量、功能性…?它跟其他類似的替代方案比有哪些更好的特點(diǎn)?)

A2:由于我們需進(jìn)行長距離的測試,HK-MSR175plus本身具有的高電量與高內(nèi)存特性,讓測量變得較為容易,有些廠商會因為時間一長,振動數(shù)據(jù)記錄太多,而內(nèi)存容量不夠?qū)е聰?shù)據(jù)遺失。


Q3:在使用「HK-MSR175plus」的過程中,它對臺積電的工作或業(yè)務(wù)產(chǎn)生了什么樣的幫助?(運(yùn)輸過程中的安全性產(chǎn)生了什么影響?相較之前使用的產(chǎn)品是否有哪些層面提升?)

A3:使用HK-MSR175Plus后能幫助臺積電更了解振動對光罩的影響,并且實(shí)際規(guī)范出量化的數(shù)值,防范未來振動對光罩的影響,提升光罩傳送的成功率。


Q4:這是屬于一次性的需求嗎?之后國內(nèi)外的廠房建置是否會有復(fù)制需求?

A4:未來光罩在往返中國臺灣與美國的途中,會添置HK-MSR數(shù)據(jù)記錄儀以監(jiān)測運(yùn)輸過程中所產(chǎn)生的振動數(shù)值。


Q5:最后,作為臺積電的工程師,您會推薦這項產(chǎn)品嗎?(是/否。推薦原因?推薦給哪些人使用?)

A5:會,非常推薦給需要量化振動數(shù)據(jù)的廠商或工程師們使用!


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